第九三八章 提案(2/2)

六一年,成立三年的gca美国地球物理公司造出了世界第一台接触式光刻机。

七十年代,尼康公司和佳能公司开始进入这个领域,作为光学行业的顶级巨鳄,相机里的一块cmos感光元件,技术难度都比当时的光刻机不知道高多少倍?如鱼得水!

七十年代,kasper仪器公司首先推出了接触式对齐机台并领先了几年,cobilt公司做出了自动生产线,但接触式机台后来被接近式机台所淘汰。

七三年,拿到美国军方投资的p&e公司推出了投影式光刻系统, 搭配正性光刻胶非常好用而且良率颇高,因此迅速占领了市场。

七八年,gca推出了世界上第一台商用步进光刻机dsw4800,该机器使用g线汞灯和蔡司光学元件,以10:1的比例将芯片线路成像到十毫米见方区域。

八零年,尼康公司率先推出日本首台kr商用步进光刻机nsr1010g,能够以五倍的分辨率的减少实现1μm制程工艺,生产比gca更高分辨率的镜头吸引客户。

ibm、ii、amd和hp等美国半导体公司,在公司利益面前果断放弃美国利益,纷纷掉头投入尼康公司的怀抱。

在尼康公司的打压下,gca的高端市场份额不断减少,在八五年、八六年损失一亿美元,不得不裁员七成;八八年,美国通用信号公司以七千六百万美元收购了陷入财务困境的gca,为了与尼康竞争,sematech美国半导体制造技术战略联盟资助gca开发成功kr光刻机,实现了1μm制程工艺,但尼康光刻机的制程工艺提升到800nm,gca的高端市场份额没有多大起色。

六六年,中k院109所与沪海光学仪器厂联手协作成功研制中国第一台光刻机、65型接触式光刻机。

八一年,中k院半导体研究所研制成功jk1半自动接近式光刻机。

八二年,109厂、冰城量具刃具厂和阿城继电器厂共同研制成功kha751型半自动接近式光刻机,在指标上已经完全对标日本的型。